株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
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装置

蒸着装置・スパッタリング

小型スパッタ装置 SSP2500G(グローブボックス付き)

小型スパッタ装置 SSP2500G(グローブボックス付き)

SSP2500G グローブボックス付きスパッタ装置は、研究開発用途に適した小型スパッタ装置です。
基板のみならず、大気を嫌う材質のターゲットも不活性雰囲気中で交換可能です。
また、10個までの成膜レシピが組める省フットプリントを実現したバッチ式自動スパッタ装置です。

SSP2500G グローブボックス付きスパッタ装置




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